对于释放应力杯并完成封装的MEMS器件来说，高温或高湿老化可能会影响硅膜的弹性形变，而长时间的压力负载也可能导致硅膜疲劳。这些损害会造成
2018-04-29 16:48
压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感
2019-09-17 10:07
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式
2016-10-27 11:50
在飞机喷气发动机中心压力的测量中，使用专门设计的硅压力传感器，其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05%的配套硅
2019-09-17 10:13
压阻式压力传感器是首款商用的 MEMS 设备。作为压力传感器市场占有率最
2020-07-15 16:33
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式
2013-01-28 16:27
电路框图和电路原理图如下图所示。对于传感器灵敏度温度漂移，一般采用改变电源电压的方法进行补偿。随着半导体技术的发展，目前已出现集成化压阻式
2019-12-08 03:56
当传感器处在压力介质中时，介质压力作用于波纹膜片上，其中的硅油受压，硅油将膜片的压力传感给半导体芯体。受压后其电阻值发生
2019-09-17 09:49
本文先介绍了压阻式传感器的工作原理，再结合MEMS（微机电系统）技术，介绍了智能化硅
2016-11-18 01:04
文中介绍通过采用MEMS（micro electro mechanical systems）技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车
2012-02-29 11:43
