。[使用的材料 - 按方式分类的压力传感器]气压传感器的典型示例是使用硅（Si）半导体的压阻
2019-03-13 06:20
目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技术已经朝着微型化、集成化及智能化的趋势发展。基于MEMS工艺的硅压
2018-11-05 15:37
摘要：硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性
2018-11-06 15:56
，方便测试及维护。总体封装后如图8所示。图8总体封装外观图该MEMS硅压阻汽车压力传感器在
2011-09-20 15:53
压力传感器所属压力传感器中最常用的一种，在工业、电子、化工、医疗、军用、石油等领域中都有一定的应用。压力传感器的种类是非常多的，可以分为压
2016-04-27 16:29
。 单晶硅压阻式压力传感器工作原理压
2021-08-09 16:32
。 · 硅具有单晶结构，这意味着膜片在拉伸后总能恢复至原始状态而不会变形。 压阻式差压
2020-07-07 14:40
MEMS压力传感器在多种应用领域得到大量使用MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（
2016-12-14 17:25
）的压阻式压力传感器来解释这些术语。 图1：绝对压力、表压和差
2020-07-07 16:58
美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽车传感器领域的美好前景。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散
2020-03-18 07:40
