对于释放应力杯并完成封装的MEMS器件来说，高温或高湿老化可能会影响硅膜的弹性形变，而长时间的压力负载也可能导致硅膜疲劳。这些损害会造成
2018-04-29 16:48
较好的线性特性。 压阻式压力传感器是基于半导体材料（单晶硅）的压
2023-03-27 11:36
压阻式压力传感器的结构 这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片
2010-04-17 07:01
压阻式压力传感器 压阻式
2008-01-09 12:52
随着MEMS技术的蓬勃发展，MEMS压力传感器已渗透到工业生产、医疗健康、消费电子及航空航天等多个关键领域。当前，市面上主流的MEMS
2024-11-26 09:40
简要阐述了解算气压高度速度的原理,对使用硅压阻式压力传感器来解算高度速度的误差和
2009-07-06 09:12
压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感
2019-09-17 10:07
压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感
2019-08-20 14:31
