）光刻技术，而GlobalFoundries当年也曾经研究过7nm EUV工艺，只不过现在已经放弃了。 而使用极紫外光（EUV）作为光源的光刻机就是EUV
2020-07-07 14:22
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，根据之前中芯国际的公报，目...
2021-07-29 09:36
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步，对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关，电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长，而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与接触式暴光相似,只是在暴光时硅片和掩膜版之间保留有很小的间隙,这个间隙一般在10~25
2012-01-12 10:56
各位技术牛人，大家好！我是北京科学技术研究院的下属所级单位——北京市电加工研究所人事。我所一直承担国家863、04专项，
2014-07-02 14:16
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造，结果会怎样？
2020-06-10 19:23
`单位简介：北京计算机技术及应用研究所，是一家历史悠久且富有活力的研究所，隶属于中国航天科工集团公司，是国内最具实力的特种计算机研究所之一，拥有硕士点最多的计算机专业
2018-02-08 11:17
各位技术牛人，大家好，我是北京市科学技术研究院下属所级单位——北京市电加工研究所人事。我所承接国家863重大专项，一直
2014-07-02 14:14
电机电力哪个学校或者研究所最流弊？浙江大学？华中科技大学？还是有什么比较流弊的..........
2016-01-21 10:37
