石英MEMS传感器主要应用于振动惯性器件，是通过振动原理测量运动物体的各种运动参数（包括角速度、角度、线加速度等）的惯性器件。石
2020-06-24 15:00
麦姆斯咨询：高精度惯性传感器主要用于测量倾角、加速度和振动等。惯性传感器作为MEMS器件，以单晶硅传感器元件为基础，采用
2019-01-29 16:35
惯性传感器是一种利用物体惯性效应来测量加速度、角速度等运动参数的传感器。随着微机电系统（MEMS）
2025-02-03 14:20
精密加工技术是为适应现代高技术需要而发展起来的先进制造技术，是其它高新技术实施的基础。 精密加工技术的发展也促进了
2018-09-26 16:28
MEMS（微机电系统）是一门综合学科，其涉及微加工技术、机械学、电子学等等。MEMS器件的大小从1毫米到1微米不等，其主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等，是微型
2019-07-22 10:56
微机械式惯性传感器已经成为许多消费产品的一个组成部分，比如手持式移动终端、照相机和游戏控制器等。此外，微机械式
2015-03-23 15:58
MEMS(微机电系统)是指集机械元件、微传感器、信号处理与控制电路、接口电路、通信和电源为一体的完整的微机电系统。MEMS惯性
2023-07-19 09:21
硅微机械加工被认为是能创造种类繁多的机电元件的一种加工手段。虽然硅基的微机械学在压力和加速度传感器的制造方面取得了巨
2006-03-13 13:59
MEMS传感器作为一种采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产等特点，在
2021-01-14 10:04
传统机械加工方法指利用大机器制造小机器，再利用小机器制造微机器。可以用于加工一些在特殊场合应用的微机械装置，例如微型
2020-07-21 10:42
