、医用仪器、军事仪器、运动机械、计算机惯性鼠标、军事等领域有广泛的应用前景。因此，近年来人们把目光投向微机械加工技术，希望研制出低成本、可批量生产的固态陀螺。目前常见的
2018-10-30 16:04
在技术应用中测量倾斜度，加速度和振动需要高精度的惯性传感器：MEMS（微型机电系统）系列传感器采用单晶硅传感器元件，
2020-07-07 09:36
一、绿色机械加工技术的特点与优势绿色机械加工技术是以实现资源最大化利用为目的机械
2018-03-06 09:26
微机械式惯性传感器已经成为许多消费产品的一个组成部分，比如手持式移动终端、照相机和游戏控制器等。此外，微机械式
2020-04-23 07:47
的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造
2018-11-12 10:51
的问题和未来发展的趋势.关键词: 微机电系统; 基础研究; 微加工技术;微型传感器;现状及展望[此贴子已经被作者于2009-3-17 15:33:50编辑过]
2009-03-17 15:29
使得一致且可重复的低成本量产成为可能。什么造就了表面微加工的多样化？微加工结构具有较小的特性尺寸，因而在同一块芯片内放置电路和传感器的成本低廉。 这与体微加工等受限于尺
2018-10-15 10:33
电系统（MEMS）惯性传感器的设计在本质上对运动非常敏感，可有效检测和处理线性加速、磁航向、海拔和角速率信息。为充分利用惯性传感器的性能潜力，设计者必须熟悉总体
2018-11-12 15:38
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工
2016-12-09 17:46
传感器等，这些微型传感器的面积大多在1 mm2以下。随着微电子加工技术，特别是纳米加工技术的进一步发展，传感器
2019-07-22 07:21
