本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉
2009-06-23 09:05
石英MEMS传感器主要应用于振动惯性器件，是通过振动原理测量运动物体的各种运动参数（包括角速度、角度、线加速度等）的惯性器件。石
2020-06-24 15:00
对微机械惯性传感器微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述，根据其不同的技术实现，诸如制造过程工作原理，控制系统，接口
2010-08-17 17:13
一、绿色机械加工技术的特点与优势绿色机械加工技术是以实现资源最大化利用为目的机械
2018-03-06 09:26
、医用仪器、军事仪器、运动机械、计算机惯性鼠标、军事等领域有广泛的应用前景。因此，近年来人们把目光投向微机械加工技术，希望研制出低成本、可批量生产的固态陀螺。目前常见的
2018-10-30 16:04
一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的
2009-11-16 16:59
麦姆斯咨询：高精度惯性传感器主要用于测量倾角、加速度和振动等。惯性传感器作为MEMS器件，以单晶硅传感器元件为基础，采用
2019-01-29 16:35
在技术应用中测量倾斜度，加速度和振动需要高精度的惯性传感器：MEMS（微型机电系统）系列传感器采用单晶硅传感器元件，
2020-07-07 09:36
MEMS（Micro Electro mechanical System）即微机电系统，是指采用微机电加工技术按照功能要求在微米量级的芯片上集成 机械零件、电子组件和传感器
2020-12-30 02:44
绿色机械加工技术是以实现资源最大化利用为目的机械加工技术。基于我国供给侧结构性改革的具体要求，绿色机械
2018-01-26 14:55
