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半导体晶体生长测温要解决的问题还原炉应用中，需多点位测温，有的点位位置较高对准目标比较困难。需透视窗测量反应物。建议使用近红外短波测温。直拉法应用中，一般集成于内部温控系统，安装空间有限。建议
2022-07-21 13:09 上海明策科技 企业号
