激光钢网模板概述
2021-01-08 07:43
模板制造的三个主要技术是什么？SMT模板的特点是什么？
2021-04-25 09:42
基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述EJX变送器)。微电子机械加工技术，包括体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术(X光深层光刻、微电铸和微复制技术)、激光微加工
2020-05-20 08:23
吴军民a, 汤学华b （上海电机学院a.汽车学院； b.机械学院，上海200245） 摘 要：研究了一种电磁型射频（RF）微机电系统（MEMS）开关的软磁悬臂梁的制备工艺。为了得到适合MEMS器件应用的镍铁合金磁性薄膜，展开微电镀工艺分析，采用振动样品磁强计测量镍铁合金薄膜的磁参量。实验结果：最大相对磁导率约为460,薄膜矫顽力约为490 A/m,饱和磁感应强度约为0.9 T,剩磁感应强度为0.03~0.06 T。此结果为开关结构设计优化提供了依据。 关键词：微机电系统；悬臂梁；镍铁；电镀；振动样品磁强计 中图分类号：TQ 153.2 文献标识码：A 文章编号 2095-0020（2010）04-0193-04 基于微机电系统（MicroelectromechanicalSystem, MEMS）技术的电磁型器件，特别是采用软磁薄膜功能材料的电磁器件，如电磁MEMS开关等，因其工艺复杂而发展滞后。其中，电磁MEMS器件的发展落后于其他类型的MEMS器件，主要在于磁性薄膜材料的微加工工艺标准化程度低，磁性薄膜的形貌和磁性能容易受其他MEMS工艺步骤的影响。本文主要对射频（Radio Frequency, RF）微机MEMS开关软磁悬臂梁的制备工艺进行研究。 在MEMS工艺中，通过电沉积方法获得厚度较大的薄膜已经比较普遍[1]。将电镀沉积方法应用在MEMS工艺中，可以快速和准确地获得比较厚的金属或合金薄膜[2]。应用于MEMS器件中的微电镀与以防腐和美观为目的的普通电镀原理一样，同属于电化学范畴，除膜厚度不受限制外，它还具有生产周期短、设备简单、易于操作等优点，可以大大降低MEMS工艺薄膜沉积的成本，有利于产业化。
2019-07-04 08:14
采用印刷台手工印刷焊膏的工艺看完你就懂了
2021-04-25 07:06
测量、卫星天线面型精度测量、月球车导航壁障相机标定、飞机工装质量检测、飞机整体外形测量、FAST反射面单元面板测量、大型地面天线面型测量、核电铸锻件加工余量测量、水轮机叶片外形尺寸测量等等。以上检测
2017-02-09 16:25
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底材料，将常规集成电路工艺和微机械加工独有的特殊工艺相结合，全面继承了氧化、光刻、扩散、薄膜、外延等微电技术，还发展了平面加『[技术、体硅腐蚀技术、固相键合技术、LIGA技术等，应用这些技术手段制造出层与层之间有很大差别的三维微结构，包括膜片、悬臂粱、凹槽、孔隙和锥体等，即微机械结构。这些微结构与特殊用途的薄膜、高性能的电路相结合，便可以制造出相应的传感器、执行器，从而实现对压力、加速度、流量、磁场、温度、湿度、气体成分、离子和分子浓度、RF等的测量与探测，在医疗、生物技术、空间技术、无线通讯等方面有着巨大的经济与军事价值。
2019-08-01 06:17
