研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,
2009-06-22 13:12
本文对硅微加速度计研究中的热点——电容式加速度计和隧道
2010-08-09 17:07
：电容式加速度计；压阻式加速度计；压电式加速度计；谐振
2020-06-08 17:34
设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定。为减小体积,提高电容式
2010-02-21 13:59
分为六大类： 电容式加速度计； 压阻式加速度计； 压电式加速度计； 谐振
2020-06-01 11:46
分为六大类： 电容式加速度计； 压阻式加速度计； 压电式加速度计； 谐振
2020-06-01 11:36
分为六大类： 电容式加速度计； 压阻式加速度计； 压电式加速度计； 谐振
2020-06-01 11:33
提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计．根据差分电容极板间正对面积的改变来检测
2010-08-17 16:58
在传感器的飞速发展下，MEMS加速度计成为了大家的首选，从目前市场上的产品来看，MEMS加速度计基本上走的都是电容式路线。这是因为压电式MEMS
2023-01-17 11:18
在本文中，我们将学习如何推导一个用于电容式 MEMS 加速度计的质量-弹簧-阻尼系统的传递函数在本系列的第一部分中，我们讨论了质量-弹簧-阻尼器(或质量-阻尼器-弹簧)结构可以用来测量加速度
2022-06-16 14:42
