电容式压力传感器 电容式压力传感器来自 维客Jum
2008-01-07 10:12
电容式压力传感器是一种利用电容器的电容量变化来测量压力的传感器。它具有高
2024-10-21 11:38
本文介绍的单片集成电容式压力传感器，传感器电容结构由多晶硅/栅氧/n阱硅构成，并通过体硅腐蚀和阳极键合等后处理工艺完成了电容
2011-11-29 10:46
电容式压力传感器一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感受压力而变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容
2019-12-18 15:05
美国Consensic 公司推出革命性新型微机电(MEMS)智能电容式压力传感器CPS120，是全世界唯一一家数字式MEMS电容式
2011-09-07 12:05
硅电容压力传感器是利用硅基材料， 应用电容原理， 采用MEMS 工艺制作的一类新型压力传感器。
2011-09-23 19:24
虹科硅电容式压力传感器，面向需要高分辨率和高精度气体压力测量的各种市场。 其最先进的性能和卓越的质量使其成为医疗、暖通空调和工业应用测量的理想选择！
2023-04-28 18:17
目前敏感薄膜的材料多采用重掺杂p型硅、Si3N4、单晶硅等。这几种材料都各有优缺点，其选择与目标要求和具体工艺相关。硅膜不破坏晶格，机械性能优异，适于阳极键合形成空腔，从简化工艺的目的出发，本方案选择硅膜。
2018-03-30 16:04
因为压阻对温度变化非常敏感，电容压力传感器天生就比基于压阻的传感器具有更高的温度稳定性。ICP-101xx压力传感器系列实现了行业领先的温度系数偏差±0.5Pa/°C，
2019-10-31 15:37
