电容式压力传感器一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感受压力而变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容
2019-12-18 15:05
目前敏感薄膜的材料多采用重掺杂p型硅、Si3N4、单晶硅等。这几种材料都各有优缺点，其选择与目标要求和具体工艺相关。硅膜不破坏晶格，机械性能优异，适于阳极键合形成空腔，从简化工艺的目的出发，本方案选择硅膜。
2018-03-30 16:04
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电
2016-10-27 11:50
在MEMS电容式压力传感器、平面硅电容器和RF MEMS开关中，离子注入均有应用。
2024-02-23 10:47
电容式压力传感器的基本结构如图1所示。式中：ε0为真空中的介电常数；t为绝缘层的厚度；εr为绝缘层的相对介电常数；g为零载荷时电容器两极板之间的初始距离；ω（x，y）为
2020-05-03 18:11
力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感
2019-08-19 11:47
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子
2013-01-28 16:27
近些年，柔性电容式压力传感器得到了广泛发展，然而在大压力预载下，想要在宽压力范围内同时实现出色的线性度、高灵敏度和超高压力
2023-07-02 14:29
谐振式压力传感器的基本机理是利用压力敏感元件感受到压力，使与之相关联的谐振器的谐振频率发生变化，通过测量谐振
2020-05-03 11:06
电容式传感器可分为3类，即极距变化型、面积变化型和介质变化型电容传感器。
2019-11-08 12:01
