本文对硅微加速度计研究中的热点——电容式加速度计和隧道式
2010-08-09 17:07
设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定。为减小体积,提高
2010-02-21 13:59
在传感器的飞速发展下，MEMS加速度计成为了大家的首选，从目前市场上的产品来看，MEMS加速度计基本上走的都是电容式路线。这是因为压电式MEMS
2023-01-17 11:18
Mems电容式加速度计的种类 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的
2020-06-08 17:34
Mems电容式加速度计的种类（三） 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的
2020-06-01 11:46
Mems电容式加速度计的种类（二） 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的
2020-06-01 11:36
Mems电容式加速度计的种类（一） 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的
2020-06-01 11:33
研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定
2009-06-22 13:12
微加速度计按检测方式，可分为压阻式、电容式、隧道式、共振
2019-11-07 09:00
在本文中，我们将了解如何推导电容式 MEMS 加速度计中使用的质量-弹簧-阻尼系统的传递函数。
2022-04-21 16:10
