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  • 深度探究芯片光刻技术

    在集成电路的制造过程中,有一个重要的环节——光刻,正因为有了它,我们才能在微小的芯片上实现功能。

    2018-12-29 15:32

  • 深入分析芯片光刻技术

    在集成电路的制造过程中,有一个重要的环节——光刻,正因为有了它,我们才能在微小的芯片上实现功能。

    2019-01-03 15:31

  • 看懂光刻机:光刻工艺流程详解

    光刻是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤,耗时长、成本高。半导体芯片生产的难点和关键点在于将电路图从掩模上转移至硅片上,这一过程通过光刻来实现,

    2018-04-08 16:10

  • 光刻机为何在我国是个难题

     光刻机是芯片制造最为重要的设备之一。目前,ASML垄断了全世界的高端光刻机。中国一直以来都想掌握光刻机技术,但是上海微电子

    2020-01-29 11:07

  • 基于SEM的电子束光刻技术开发及研究

    电子束光刻(e-beam lithography,EBL)是无掩膜光刻的一种,它利用波长极短的聚焦电子直接作用于对电子敏感的光刻

    2024-03-04 10:19

  • 电子束光刻的参数优化及常见问题介绍

    本文从光刻图案设计、特征尺寸、电镜参数优化等方面介绍电子束光刻的参数优化,最后介绍了一些常见问题。

    2024-03-17 14:33

  • 浅析光刻技术的原理和EUV光刻技术前景

    光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术。光刻也是制造

    2019-02-25 10:07

  • 芯片产业中的光刻机是怎么雕刻出远远小于自己波长的线宽的?

    具体地说是利用某种Copolymer,比如PMMA-PS,在满足一定分子比和物理条件的形况下,PMMA跑到一边,PS跑到另一边,形成很有序的交错结构,再进行针对不同组分的蚀刻就可以Double Pattern了。

    2018-04-27 08:49

  • 干货!光刻技术的原理和EUV光刻技术前景

    光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术。

    2019-03-02 09:41

  • 光刻技术的原理详细说明

    光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术。光刻也是制造

    2019-12-21 09:58