本文研究了 基于形状修正的电子束光刻分级邻近效应校正技术,在内部邻近效应校正的基础上,在计算图形之间产生的相互邻近效应过程中,采用了局部曝光窗口和全局曝光窗口机制。局部曝光窗口的区域小,对计算精度
2018-12-05 11:20
随着 纳米加工 技术的发展,纳米结构器件必将成为将来的集成电路的基础. 本文介绍了几种用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备硅量子线、量子点和用电子束光刻、电子束蒸发以及剥
2011-06-20 16:16
焊接技术的创新和发展。在我国的焊接领域,电子束焊接技术主要有七个主要的优点,首先是电子束焊接技术在焊接的过程中产生的焊接变形较小,其次是电子束焊接技术产生的热量影响区域较小,第三是
2018-03-15 11:18
半桥逆变型电子束焊机用直流高压电源的设计
2012-08-20 16:07
电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说,电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和
2021-03-17 20:10
压缩点。此MMIC使用M/A-COM Tech的GaAs PHEMT器件模型技术,并基于电子束光刻以确保高重复性和均匀性。芯片具有表面钝化功能通过背面保护并提供坚固的零件孔和金金属化,以允许导电环氧树脂或共晶焊料模具连接过程该装置非常适合微波,毫米波和宽带军事应用。
2023-07-06 15:27
一、光刻胶的选择光刻胶包括两种基本的类型:正性光刻和负性光刻,区别如下
2021-01-12 10:17
有人知道 为什么光刻完事 剥离那么容易脱落呢 怎么避免呢
2012-06-26 12:40
线束测试仪多用于电缆线束产品的检测中,用于电缆线束的导通,绝缘耐压等参数测试,也可对电阻、二极管、电容等电子元器件进行测试,常用于航空航天等具有高质量的线
2022-08-23 18:09
半导体光刻蚀工艺
2021-02-05 09:41