为了在基板上形成功能性的MEMS结构,必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常,蚀刻过程分为两类:浸入化学溶液后材料溶解的湿法蚀刻干蚀刻,其中使用反应性离子或气相蚀刻剂溅射或溶解材料在下文中,我们将简要讨论最流行的湿法和干法蚀刻技术。
2021-01-09 10:17
谁来阐述一下电感式传感器可分为哪两大类?
2019-11-18 15:14
` 谁知道双绞线分为哪两种?`
2019-12-31 15:53
` 谁来阐述一下双绞线分为哪两种?`
2020-03-16 17:03
基于压电效应的压力传感器。它的种类和型号繁多,按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞式两类。
2020-03-26 09:02
关于cpu访问GPIO、UART、I2C等接口,与cpu访问FLASH、ROM、SDRAM的区别?cpu访问GPIO、UART等外设,是通过特殊功能的寄存器,不也是在访问内存上的某一地址吗?而cpu访问FLASH、ROM也是访问内存中对应的某一地址。请问,访问两类,有何区别?
2019-09-10 05:45
保护功能可分为以下两类:(1)检知异常状态后自动地进行修正动作,如过电流失速防止,再生过电压失速防止。(2)检知异常后封锁电力半导体器件PWM控制信号,使电机自动停车。如过电流切断、再生过电压切断、半导体冷却风扇过热
2021-05-07 14:50
保护功能可分为以下两类:(1)检知异常状态后自动地进行修正动作,如过电流失速防止,再生过电压失速防止。(2)检知异常后封锁电力半导体器件PWM控制信号,使电机自动停车。如过电流切断、再生过电压切断、半导体冷却风扇过热
2021-05-18 16:31
保护功能可分为以下两类:(1)检知异常状态后自动地进行修正动作,如过电流失速防止,再生过电压失速防止。(2)检知异常后封锁电力半导体器件PWM控制信号,使电机自动停车。如过电流切断、再生过电压切断、半导体冷却风扇过热
2021-04-30 09:02
adm7171 是既支持可调,又支持固定输出吗?以下两类器件有啥区别?
2024-01-04 07:54