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    ,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限,所以Intel、三星和台积电都会在

    2020-07-07 14:22

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  • 魂迁光刻,梦绕芯片,中芯国际终获ASML大型光刻机 精选资料分享

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    2025-05-07 06:03

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    2012-01-12 10:56

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    2018-09-03 16:48

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    的有氧化炉、沉积设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入、清洗、化学研磨设备等。以上是今日Enroo关于晶圆制造工艺及半导体设备的相关分享。

    2018-10-15 15:11

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    2022-11-20 08:48

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    2018-08-23 17:34