“有别于传统的创新,我们是完全自主知识产权,用在集成电路制造领域的核心装备,目标是取代进口。”合肥芯碁微电子装备有限公司相关负责人介绍说,即将投产的激光直写光刻机、双台面激光
2016-11-03 10:06
计算机图形软件设计微通道,并将设计图形转换为图形文件。这些设计图形随后被用于指导掩膜版的制作。 在制版阶段,设计好的图形通过直写光刻设备(如激光直写
2024-08-08 14:56
近日,贺矽万(上海)半导体科技有限公司成功通过了ISO9001质量管理体系认证,标志着公司在无掩模激光直写光刻机领域的质量管理和服务能力迈上了新的台阶。 此次认证的依据是GB/T
2025-01-07 14:51
光刻机的原理是接近或接触光刻,通过无限接近,将图案复制到掩模上。直写光刻是将光束聚焦到一个点上,通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影
2022-07-10 15:28
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位,光刻机,是制造芯片的机器,要是没有了光刻机,我们就没有
2021-07-07 14:31
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机,有用于LED制造领域的光刻机,还有用于封装的光刻机。光刻机是采用
2022-02-05 16:03
本文以光刻机为中心,主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、光刻机的工艺流程及工作原理。
2017-12-19 13:33
刻蚀机不能代替光刻机。光刻机的精度和难度的要求都比刻蚀机高出很多,在需要光刻机加工的时候刻蚀
2022-02-05 15:47