“有别于传统的创新，我们是完全自主知识产权，用在集成电路制造领域的核心装备，目标是取代进口。”合肥芯碁微电子装备有限公司相关负责人介绍说，即将投产的激光直写光刻机、双台面激光
2016-11-03 10:06
计算机图形软件设计微通道，并将设计图形转换为图形文件。这些设计图形随后被用于指导掩膜版的制作。 在制版阶段，设计好的图形通过直写光刻设备（如激光直写
2024-08-08 14:56
近日，贺矽万(上海)半导体科技有限公司成功通过了ISO9001质量管理体系认证，标志着公司在无掩模激光直写光刻机领域的质量管理和服务能力迈上了新的台阶。 此次认证的依据是GB/T
2025-01-07 14:51
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步，对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关，电子波长可通过增加加速电极电
2025-05-07 06:03
实际过程肯定没这么简单，上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光，经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台，上面放的就设计公司做好的光掩膜
2020-07-07 14:22
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38
光刻机的原理是接近或接触光刻，通过无限接近，将图案复制到掩模上。直写光刻是将光束聚焦到一个点上，通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影
2022-07-10 15:28
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
光刻机，是现代光学工业之花，是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位，光刻机，是制造芯片的机器，要是没有了光刻机，我们就没有
2021-07-07 14:31
