本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
近日，清华大学与华为技术有限公司在清华大学自强科技楼正式签署合作协议，共同宣布“清华大学鲲鹏昇腾科教创新卓越中心专项合作”(简称“卓越中心”)正式启动。 出席签约仪式的有清华大
2025-02-18 14:11
光刻机，是现代光学工业之花，是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位，光刻机，是制造芯片的机器，要是没有了光刻机，我们就没有
2021-07-07 14:31
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机，有用于LED制造领域的光刻机，还有用于封装的光刻机。光刻机是采用
2022-02-05 16:03
4 月 22 日，清华宣布成立集成电路学院。 清华大学党委书记陈旭，在致辞中表示，集成电路学院是清华的实体教学科研机构，隶属于信息学院。 今年 4 月，出于聚焦国家关键领域、服务国家重大战略需求
2021-04-26 10:07
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻机生产。那么euv光刻机
2022-07-10 15:28
PartMiner向清华大学免费开放数据服务 电子元件供应商及线上电子元件数据库提供者 PartMiner 公司日前宣布，向清华大学有关师生免
2009-08-29 09:22
本文以光刻机为中心，主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、光刻机的工艺流程及工作原理。
2017-12-19 13:33
刻蚀机不能代替光刻机。光刻机的精度和难度的要求都比刻蚀机高出很多，在需要光刻机加工的时候刻蚀
2022-02-05 15:47
