为了在基板上形成功能性的MEMS结构，必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常，蚀刻过程分为两类：浸入化学溶液后材料溶解的湿法蚀刻干蚀刻，其中使用反应性离子或气相蚀刻剂溅射或溶解材料在下文中，我们将简要讨论最流行的湿法和干法蚀刻技术。
2021-01-09 10:17
测量涂料的粘度（用粘度剂或流量杯），可使用稀释剂调整粘度。 （5）线路板组件应垂直浸入涂料槽中。连接器不要浸入，除非经过仔细遮盖，线路板应浸入1分钟，直至气泡消失，然后缓慢拿出。线路板表面会形成一层
2021-02-05 15:13
热式质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传 感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。
2019-09-17 09:00
如何为嵌入式处理设计选择合适的开发工具？
2021-04-29 06:24
什么是主动式PFC电源？真的比被动式PFC省电？为什么要选择主动式PFC电源？
2021-03-11 06:30
位置式 PID 和增量式 PID有什么区别。在小车调速里一般用增量式，为什么呢？
2023-10-26 06:54
什么是PID？PID控制器主要有哪些应用？位置式PID与增量式PID的区别在哪？位置式PID优缺点有哪些？增量式PID优缺点有哪些？
2021-07-13 08:13
什么是嵌入式？嵌入式设备有哪些呢？
2021-12-24 07:47
什么是嵌入式？嵌入式是如何定义的？
2022-02-28 07:45
如何为交换式电源供应器设计主动式桥式整流器？如何利用主动式桥式整流器直接有效的改善全机效率电路？
2021-03-10 06:34
