熟悉微电子工艺设备的人都知道，射频源（RFGENERATER）是半导体工艺不可缺少的设备，其主要应用于等离子体干法刻蚀设备。其原理是刻蚀气体（主要是F基和C1基的气体）通过气体流量控制系统
2016-05-27 15:17
在生产过程中，凡是将两种或两种以上的物料量自动地保持一定比例关系的控制系统，就称为比值控制系统。在化工行业中，流量控制是非常重要的。本文主要介绍了一种流量比值
2019-04-28 15:40
指网内相邻两节点之间的流量控制，使之维持一个均匀的流量，避免局部地区的阻塞。
2019-09-13 16:45
压力测量控制系统用于监测支架压力， 每台测量控制系统配有四只传感器， 可分别通过高压油管连接支架的立柱、平衡千斤顶， 前探梁千斤顶的油压腔。压力测量控制系统接收到通讯测量控制系
2019-06-26 16:05
压力测量控制系统用于监测支架压力， 每台测量控制系统配有四只传感器， 可分别通过高压油管连接支架的立柱、平衡千斤顶， 前探梁千斤顶的油压腔。压力测量控制系统接收到通讯测量控制系
2019-08-28 17:24
靶式流量控制器采用传感器。可用于水冷却系统或其他流体回路。控制器的设定值可调。调节范围为20-1200L/min，广泛用于冶金、电力、机械、化工、船舶等行业，对循环冷却、润滑过滤或其它流体回路进行监控、报警、联琐保护
2019-12-05 11:40
今天为大家介绍一项国家发明授权专利——流量控制阀以及流量控制阀用的滑阀位置检测装置。该专利由株式会社阿米泰克申请，并于2016年11月2日获得授权公告。
2018-11-04 09:13
自力式流量控制阀从结构上说，是一个双阀组合，即由一个手动调节阀组和自动平衡阀组组成。手动调节阀组的作用是设定流量，自动平衡阀组的作用是维持流量恒定。
2020-01-25 15:38
本文主要利用电机矢量控制系统原理，提出了一种异步电机矢量控制系统及其控制策略总体设计方案，采用Simulink工具构建了矢量变频调速系统数学模型，详细介绍了各个子模块的
2013-10-28 11:04
)通过气体流量控制系统通入反应腔室，在高频电场(频率通常为13.56MHz)作用下产生辉光放电，使气体分子或原子发生电离，形成等离子体(Plasma)。等离子体是包含足够多的正负电荷数目近于相等的带电粒子的非凝聚系统。而射频源正是产生高频电场的核心设备。
2019-03-19 14:26
