,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻
2020-07-07 14:22
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
的要求则反过来,我们要确保影像要绝对清晰,就要将对焦点落在光阻上,并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢? 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内,是不是有点
2020-09-02 17:38
45-50台的交付量。这其中很大一部分都供给了台积电,用于扩充5nm,以及7nm产能。中微半导体除光刻机之外,蚀刻机也是5nm
2020-03-09 10:13
为了减轻野外工作强度,提高内业、外业的工作效率,我们经过几年的努力,研制出一种野外调查自动记数、统计、分析,与计算机联机建立数据库的叉形测径仪,可将数据进行存储。 叉形测径仪研制成功使得森林
2018-11-06 09:41
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
从7nm到5nm,半导体制程芯片的制造工艺常常用XXnm来表示,比如Intel最新的六代酷睿系列CPU就采用Intel自家的14nm++制造工艺。所谓的XXnm指的是集成电路的MOSFET晶体管栅极
2021-07-29 07:19
随着半导体产业技术的不断发展,芯片制程工艺已从90nm、65nm、45nm、32nm、22nm、14
2019-12-10 14:38
7nm智能座舱芯片市场报告主要研究: 7nm智能座舱芯片市场规模: 产能、产量、销售、产值、价格、成本、利润等 7nm智能座舱芯片行业竞争分析:原材料、市场应用、产品种类、市场需求、市场供给,下游
2024-03-16 14:52