实际过程肯定没这么简单，上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光，经过矫
2020-07-07 14:22
本文以光刻机为中心，主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、光刻机的工艺流程及
2017-12-19 13:33
感应子式步进电机工作原理 （一）反应式步进电机原理由于反应式步进电
2010-01-09 15:09
本文介绍了光刻机在芯片制造中的角色和地位，并介绍了光刻机的工作原理和分类。 光刻机：芯片制造的关键角色
2024-11-24 09:16
在半导体芯片制造设备中，投资最大、也是最为关键的是光刻机，光刻机同时也是精度与难度最高、技术最为密集、进步最快的一种系统性工程设备。光学光刻技术与其它光刻技术相比，具有
2018-04-10 11:26
磁阻式步进电机的工作原理 以磁阻式步进电机为例,介绍一下步进电机的
2009-05-06 23:40
步进电机工作原理与编程方法和控制源程序 本文介绍了步进电机的工作原理与编程方法，以及例出
2008-05-22 09:13
步进电机的工作原理 以磁阻式步进电机为例,介绍一下步进电机的工作原理,
2009-03-30 16:53
光刻机经历了5代产品发展，每次改进和创新都显著提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV；按照工作原理依次从接触接近
2024-03-21 11:31
导读：光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。光刻是制造芯片的最关键技术，在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。 光刻机
2022-12-23 13:34
