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在半导体、光学镀膜及新能源材料等领域，精确测量薄膜厚度和光学常数是材料表征的关键步骤。Flexfilm光谱椭偏仪（SpectroscopicEllipsometry,SE）作为一种非接触、非破坏性

2025-07-22 09:54 Flexfilm 企业号

椭偏仪是一种基于椭圆偏振分析的光学测量仪器，通过探测偏振光与样品相互作用后偏振态的变化，获取材料的光学常数和结构信息。Flexfilm全光谱椭

2025-09-26 18:04 Flexfilm 企业号

图1.传统构型光谱椭偏仪(a)和基于超构表面阵列的光谱椭偏仪(b)系统示

2024-04-28 06:35

椭偏技术是一种非接触式、高精度、多参数等光学测量技术，是薄膜检测的最好手段。本文以椭圆偏振基本原理为基础，重点介绍了光学模型建立和仿真，为椭偏

2025-08-15 18:01 Flexfilm 企业号

在半导体芯片制造中，薄膜厚度的精确测量是确保器件性能的关键环节。随着工艺节点进入纳米级，单颗芯片上可能需要堆叠上百层薄膜，且每层厚度仅几纳米至几十纳米。光谱椭偏仪因其非接触、高精度和快速测量的特性

2025-07-22 09:54 Flexfilm 企业号

椭偏仪是一种基于椭圆偏振分析的光学测量仪器，通过探测偏振光与样品相互作用后偏振态的变化，获取材料的光学常数和结构信息。Flexfilm全光谱椭

2025-08-27 18:04 Flexfilm 企业号

薄膜厚度的测量在芯片制造和集成电路等领域中发挥着重要作用。椭偏法具备高测量精度的优点，利用宽谱测量方式可得到全光谱的椭偏参数，实现纳米级薄膜的厚度测量。Flexfilm

2025-09-08 18:02 Flexfilm 企业号

椭偏仪作为表征光学薄膜性能的核心工具，在光学薄膜领域具有不可替代的作用。本研究聚焦基底类型（K9玻璃、石英玻璃、单晶硅）对溶胶-凝胶法制备的TiO₂和SiO₂薄膜光学性能的调控机制。Flexfilm

2025-07-22 09:51 Flexfilm 企业号

在半导体芯片和光学元件加工等应用中，精确测量薄膜的厚度和折射率至关重要。光谱椭偏仪是一种被广泛应用于测量薄膜厚度和折射率的仪器。

2024-04-19 09:17

的物理高度差，为实现厚膜层的简单、直接测量提供了经典方案。而光谱椭偏仪则利用光与薄膜相互作用的偏振态变化，兼具非破坏性、快速测量与提取材料光学常数的优势，成为表征透

2025-08-29 18:01 Flexfilm 企业号