图1.传统构型光谱椭偏仪(a)和基于超构表面阵列的光谱椭偏仪(b)系统示
2024-04-28 06:35
在半导体芯片和光学元件加工等应用中，精确测量薄膜的厚度和折射率至关重要。光谱椭偏仪是一种被广泛应用于测量薄膜厚度和折射率的仪器。
2024-04-19 09:17
2023-10-26 08:31
本视频主要介绍了半导体测试设备，分别有椭偏仪、四探针、热波系统、相干探测显微镜、光学显微镜以及扫描电子显微镜。
2018-11-02 16:39
研究光栅样品的情况下，这些系数也可以是特定衍射阶数的瑞利系数。 椭圆偏振对小厚度变化的敏感性 为了评估椭偏仪对涂层厚度即使是非常小的变化的敏感性，对10纳米厚的二氧化硅层和10.1纳米厚的二氧化硅膜
2025-02-05 09:35
步进电动机高精度细分方法及其控制系统 本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传统直流减速电机”的研究课题。椭圆偏振测量
2010-05-24 15:18
半导体应用，包括光谱椭圆光度术。 椭偏仪简介 光谱椭圆光度术是一种用于检查纳米级材料的无损计量方法，对于确定薄膜基板的厚度以及质量监控和缺陷分析特别有用。该技术至少可以追溯到 1886 年，当时德国物理学家
2025-04-22 06:11
德国欧库睿因公司(Accurion GmbH)。德国欧库睿因公司是一家研发并制造成像椭偏仪和主动隔振器的私营公司。此次收购优化了park原子力显微镜和白光干涉显微镜联用技术。 欧库睿因公司总部位于德国哥廷根，是成像椭
2022-09-07 14:49
。以下是部分现有产品。 一：光谱仪 光谱技术在光学测量（椭偏仪、膜厚仪）、等离子刻蚀工艺检测（等离子状态监测、刻蚀终点监
2023-03-20 16:54
等多个方面。椭偏仪就像一位精准的测量大师，能够精确地测量薄膜的厚度。X 射线衍射仪则可以洞察薄膜的内部结构，分析其结晶状态，从而为评估薄膜的致密性提供有力依据。扫描电子
2024-11-22 10:35
