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  • 光刻机工艺的原理及设备

    光刻技术,而GlobalFoundries当年也曾经研究过7nm EUV工艺,只不过现在已经放弃了。  而使用紫外光

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  • 放电等离子体紫外光源中的主脉冲电源

    快照】:紫外(EUV)光刻技术一直被认为是光学光刻

    2010-04-22 11:41

  • EUV热潮不断 中国如何推进半导体设备产业发展?

    ,购买或者开发EUV光刻机是否必要?中国应如何切实推进半导体设备产业的发展?EUV面向7nm和5nm节点所谓紫外光刻

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    2021-07-29 09:36

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    2021-03-31 06:04

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    2017-10-11 15:40