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2014-04-07 04:33
就是研发NA 0.5的光学镜片,这是EUV光刻机未来进一步提升分辨率的关键,不过高NA的EUV光刻机至少是2025-2030年的事了,还早着呢,光学镜片的进步比电子产品难多了。 NA数值一时间不能提升
2020-07-07 14:22
芯片想必大家都很熟悉,光刻机是是制造芯片的核心装备,并且光刻机只有一小部分国家拥有,那么光刻机为什么这么难呢? 据说越小的东西,建造起来就越困难。 这句话不是没有道理的
2022-07-10 17:37
光刻机原理怎么做芯片 光刻是集成电路中最重要的工艺,光刻机是制造芯片的核心装备,在芯片的制作中,几乎每个工艺的实施,都需要用到光
2021-08-07 14:54
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
在半导体制造过程中,光刻机是最核心的设备,同时,也是研发难度最高的设备。
2022-07-07 09:38
总有人说光刻机有什么难的?就算被封锁,凭我们自己的能力还造不出吗?在这里要特地说一下,研制光刻机,可比研制原子弹难多了。
2020-07-02 09:49
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位,光刻机,是制造芯片的机器,要是没有了光刻机,我们就没有
2021-07-07 14:31