电磁驱动型扫描微镜是依据带电线圈产生的电磁场来驱动的。电磁微镜最明 显的优势是仅在低电压低电流的驱动下就可以达到较大的微镜角度偏转，同时也 具有偏转速度快，频率高等特性。电磁式驱动可以产生吸引力和排斥力，因而其 设计方式更加灵活；另外，电磁扫描微镜还可以利用磁场的
2023-01-29 16:20
我在上一篇关于MEMS压力传感器的博客中，谈到了从手表到复杂机械等众多设备中的HMI传感器如何改变了我们获取信息以及与技术交互的方式。过去，许多设备上只有机械按钮或按键，而现在则利用触摸屏及其它传感
2024-02-21 09:39
MEMS微镜在DLP的应用是一个成功的例子。DLP显示的核心技术则是采用静电原理的MEMS微镜组成的阵列，每一面微镜构成一个单色像素，由微镜下层的寄存器控制特定镜片在开关状态间的高速切换，将不同颜色的像素糅合在一起。DLP技术在1987年问世，最初仅用于国防，直到
2018-10-22 10:26
Mic roVision 公司系统工程与先进应用部门总监Jari Honkanen，他向我介绍了MicroVision公司发明的令人称奇的MEMS移动镜技术。
2018-02-08 20:10
MEMS传感器是一种微型电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器，它将传感器和微机电系统集成在一起，利用微纳技术实现微型化。这种传感器通常由微型机械结构
2024-10-18 15:33
MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统。而MOEMS
2018-05-19 01:23
近年来随着射频微机械技术的发展，MEMS移相器越来越受到人们广泛关注，已经成为人们主要研究的MEMS器件之一。与传统的移相器相比，MEMS移相器多采用半导体材料作衬底，
2017-12-12 03:06
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。
2018-08-08 10:57
MEMS 芯片的集成通常是指电子和机械功能的集成。那么这种工艺的最终目标是什么呢？答案是：将MEMS 结构无缝集成到与之相连的同一CMOS 芯片上。 目前的MEMS
2018-04-10 16:58
MEMS全称为微型电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来，融合了微电子加工工艺和精密机械加工等技术制作的微米级电子
2020-07-14 11:51
