来检测物体。激光雷达系统的视场 (FOV) 决定了激光雷达能够捕捉到的图像的宽度，因此该视场对于自动驾驶决策算法十分重要。扩大FOV的方法有很多种，其中之一就是利用机械扫描，使用电机帮助实现360度
2022-11-03 07:12
本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 11:21 编辑 释放MEMS机械结构的干法刻蚀技术湿法刻蚀是MEMS 器件去除牺牲材料的传统工艺，总部位于苏格兰的Point 35
2013-11-04 11:51
`MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合
2020-05-12 17:27
什么是MEMS？MEMS = Micro-Electro-Mechanical System, 是用半导体技术，在半导体材料上刻蚀出来的微机械结构。下图左边是MEMS制
2019-09-12 09:05
MEMS全称微型电子机械系统，相比于传统的机械，MEMS的尺寸更小，其大小在几微米及一个厘米之间，而厚度则更加微小。MEMS
2020-08-18 07:19
批量微加工主条目：批量微加工批量微加工是基于硅的MEMS的最古老范例。硅晶片的整个厚度用于构建微机械结构。[18]使用各种蚀刻工艺来加工硅。玻璃板或其他硅片的阳极键合可用于添加三维尺寸的特征并进
2021-01-05 10:33
目标，快速灵活地改变天线波束和指向形状，能够对整个空间内的各频段电磁波进行发送和接收，这是相控阵天线的空域滤波功能，即可对多个目标实现搜索、跟踪、捕获、识别等任务的精确完成。一、机械扫描与电扫描波束
2019-06-12 07:53
`ATA-2000系列高压放大器——MEMS光栅控制驱动中的典型应用关键索引词： MEMS 微机电系统 MEMS传感器 MEMS 光学
2016-08-04 15:08
`高速高压放大器——MEMS光栅控制驱动中的典型应用关键索引词： MEMS 微机电系统 MEMS传感器 MEMS 光学扫描
2016-07-27 11:46
MEMS开关技术的关键是静电驱动的微加工悬臂梁开关元件概念。本质上可以将它视作微米尺度的机械开关，其金属对金属触点通过静电驱动。开关采用三端子配置进行连接。功能上可以将这些端子视为源极、栅极和漏极。图2
2018-10-17 10:52
