相比传统体加工技术，表面微机械加工通过“牺牲层腐蚀”工艺，可构建更复杂的三维微结构，显著扩展设计空间。
2025-06-26 14:01
谐振式压力传感器的基本机理是利用压力敏感元件感受到压力，使与之相关联的谐振器的谐振频率发生变化，通过测量谐振器频率的变化来检测压力。与通常的诸如压阻式和电容式压力传感器相比，谐振式压力传感器体积小、功耗低；以频率为最后输出量的特点使其具有更高的精度和稳定性，容易和大规模集成电路兼容。
2020-05-03 11:06
微机械加工工艺分为硅基加工和非硅基加工。下面主要介绍体加工工艺、硅表面微机械
2013-01-30 13:53
随着超精密加工技术的发展，在机械加工中也需要纳米级的加工控制技术，从这个观点出发，近年来，利用扫描型探针显微镜(SPM)
2022-03-30 14:34
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室
2020-07-10 11:50
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室
2018-08-08 10:57
精密加工技术是为适应现代高技术需要而发展起来的先进制造技术，是其它高新技术实施的基础。 精密加工技术的发展也促进了
2018-09-26 16:28
近年来随着射频微机械技术的发展，MEMS移相器越来越受到人们广泛关注，已经成为人们主要研究的MEMS器件之一。与传统的移相器相比，MEMS移相器多采用半导体材料作衬底，用微机械
2017-12-12 03:06
激光加工技术是利用高能量激光束与物质相互作用的特性，对金属及非金属材料进行切割、焊接、打孔、蚀刻、微调、存储、划线、清洗、热处理及表面处理等的一门加工技术。
2024-01-26 13:42
微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与
2018-04-14 11:28
