是有关系的,有公式可以计算: 光刻机分辨率=k1*λ/NA (k1是常数,不同的光刻机k1不同,λ指的是光源波长,NA是物镜的数值孔径,所以光刻机的分辨率就取决于光
2020-07-07 14:22
顶级光刻机有多难搞?ASML的光刻机,光一个零件他就调整了10年!拿荷兰最新极紫外光EUV光刻机举例,其内部精密零件多达10万个,比汽车零件精细数十倍!
2020-07-02 09:38
以下内容由对话音频整理 本期话题 ● EUV光刻机产能如何? ● 晶圆为什么是圆的? ● 不同制程的芯片之间有何区别? ● 什么是逻辑芯片,逻辑芯片又包括哪些? ● 专用芯片与通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
芯片是半导体中的积分器,目前芯片的利用率很高,要想在技术领域有所突破,就必须在芯片领域发展。在芯片制造中,最受关注的是光刻机的发展。到目前为止,我国光刻机制造领域还比较缺乏机械。我们的光刻机技术相对
2020-08-02 10:32
中国芯的进步那是有目共睹,我国在光刻机,特别是在EUV光刻机方面,更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38
光刻机是芯片制造的核心设备之一,作为目前世界上最复杂的精密设备之一,其实光刻机除了能用于生产芯片之外,还有用于封装的光刻机,或者是用于LED制造领域的投影光刻机。目前,
2020-03-18 11:12
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
不会有我们现在的手机、电脑了。 光刻机是用于芯片制造的核心设备,按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机。
2021-07-07 14:31
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53