1.晶体生长基本流程下图为从原材料到抛光晶圆的基本工艺流程:2.单晶硅的生长从液态的熔融硅中生长单晶硅的及基本技术称为直拉法(Czochralski)。半导体工业中超过90%的单晶硅都是采用这种
2024-12-17 11:48 Piezoman压电侠 企业号
GT Advanced Technologies Inc.日前推出全新的 DSS450 MonoCast 晶体生长系统。
2012-02-05 10:44
在晶体生长的过程中,由于某些条件的引入将会导致结构缺陷的生成。
2024-01-05 09:12
浮区晶体生长是本文所解释的几个过程之一,这项关键性的技术是在历史早期发展起来的技术,至今仍用于特殊用途的需求。
2023-12-28 09:12
在接下来的一个章节里面,我们将主要介绍用砂子制备半导体级硅的方法,以及后续如何将其转化为晶体和晶圆片(材料制备阶段),以及如何来生产抛光晶圆的过程(晶体生长和晶圆制备)。
2023-12-18 09:30
基于嵌入式Linux的晶体生长控径系统的研究 1 引言 随着单晶硅片制造向大直径化发展,直拉法单晶硅生长技术在单晶硅制造中逐渐显出其主导地位。为使
2010-03-12 11:14
介绍晶体生长控温系统的组成,微弱温差信号的接 口调理方法及智能控制器的分级控制方式。系统控温范围(25~75)℃,控温精度达0. 01℃,分辨率0.001℃,投入使用多年来,工作稳定
2009-10-15 21:48
从液态的熔融硅中生长单晶硅的及基本技术称为直拉法(Czochralski)。半导体工业中超过90%的单晶硅都是采用这种方法制备的。
2024-03-12 11:15
晶体生长在分析晶体生长时,我们需要考虑多个关键因素,这些因素共同影响着晶体生长的质量和进程。本文介绍了晶体生长相关内容,包括:杂对晶格硬度变化影响、碳化硅晶型控制、衬底
2024-12-30 11:40