半导体工艺一般会产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体需要以受控方式进行处理. 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱分析仪与 Scrubber 半导体尾气处理设备
2024-10-18 13:24 伯东企业（上海）有限公司 企业号
上海伯东日本 Atonarp Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪, 基于四级杆的质量分离, Aston 质谱分析仪设计紧凑, 适用于气体分析和过程气体监测, 满足半导体工艺过程中
2024-10-18 13:42 伯东企业（上海）有限公司 企业号
上海伯东客户日本某生产半导体用***公司, ***真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成***的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求
2023-06-02 15:53 伯东企业（上海）有限公司 企业号
上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求
2022-08-04 17:18 伯东企业（上海）有限公司 企业号
