`什么是MEMS传感器?MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanical System),微机电系统是指可批量制作的,将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理
2016-12-09 17:46
片技术,将性能稳定的薄膜片电阻加工到一片薄膜上。由于采用了MEMS加工,因此一方面缩短了传感器响应时间,另一方面由于采用了前后桥电路,可以判断出流体流向,从而进一步测量出回流流量。为了防止温度变化对测量
2016-12-07 15:42
`MEMS全称Micro Electromechanical System(微机电系统),是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统,微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合
2020-05-12 17:27
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
MEMS传感器,也就是我们常说的智能传感器,是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上,这样能够感知被测参数,并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21
历经十多年前的发展,MEMS(微机电系统, Micro-Electro-Mechanical System)逐渐衍变成消费类市场的重要推手,可谓是在手持式产品里风生水起,尤其在手机应用上更是如鱼得水。
2019-08-02 06:53
MS-2393:利用MEMS实现医疗创新
2019-09-09 06:31
微机电系统(MEMS)
2021-01-09 10:18
工业应用环境的恶劣性对MEMS传感器的要求极其苛刻,如何选择耐高温、高稳定性的产品也是众多工业生产不可或缺的一步。ADI是MEMS创新产品的领导者,在工业应用领域有丰富的经验,现在我们可以与ADI
2014-10-15 14:15