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  • 光刻机工艺的原理及设备

      关于光刻工艺的原理,大家可以想象下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路个个的复制到

    2020-07-07 14:22

  • ASML研发新一代EUV光刻机 分辨率能提升70%左右

    在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研发新一代EUV光刻机,预计在2022年开

    2020-03-17 09:13

  • 曝ASML新一代EUV光刻机预计2022年开始出货 将进步提升光刻机的精度

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    2020-03-17 09:21

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    2020-09-02 17:38

  • 三星斥资买新一代光刻机 中芯光刻机最新消息

    三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV光刻机达成采购协议。

    2022-07-05 15:26

  • euv光刻机出现时间 ASML研发新一代EUV光刻机

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    2022-07-07 09:48

  • 光刻机的分类与原理

    本文主要介绍光刻机的分类与原理。   光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻

    2025-01-16 09:29

  • ASML明年将发布新一代EUV光刻机 三星太子急赴荷兰

    ,相比上一代产品,新款EUV光刻机生产效率将提升18%,曝光速度为30mj/cm,每小时可处理160片晶圆。 有意思的是,在2019年的年报中,ASML便提到正在研发新一代EUV

    2020-10-17 05:02

  • duv光刻机和euv光刻机区别是什么

    目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外

    2022-07-10 14:53

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    2020-10-19 11:42