光纤的数值孔径是指光纤传输中心芯的直径与光纤外层材料的折射指数之间的参数差异。它是光纤传输的一个重要指标，对于确定光纤传输性能、光信号传输质量等具有重要作用。 为了更好地理解光纤的数值孔径，我们需要
2024-01-22 10:55
采用曲线掩模的另一个挑战是需要将两个掩模缝合在一起以在晶圆上形成完整的图像。对于高数值孔径 EUV，半场掩模的拼接误差是一个主要问题。
2023-10-23 12:21
技术节点的发展推动着半导体曝光技术解像度(Half Pitch)的发展，ArF液浸曝光技术和EUV曝光技术等的解像度(R)和曝光波长(λ)成正比，和光学的数值孔径(NA，Numerical Aperture)成反比，也就是说，如果要增大解像度，需要在缩短波长的同时，扩大数
2019-01-17 09:31
光刻机的镜头要实现纳米级的成像分辨率，就得拼命增大镜片的数值孔径（Numerical Aperture），但这同时会导致焦深（DoF）的下降，焦深是指光学成像的聚焦深度，要想保证光刻图像清晰不失焦，晶圆表面的高低起伏，就必须落在焦深范围之内。
2024-01-22 18:19
据悉，下一代EUV光刻机必须要升级下一代的高NA(数值孔径)标准，从现在的0.33 NA提升到0.55 NA，更高的NA意味着更分辨率更高，是3nm之后的工艺必备的条件。
2022-11-30 09:52
这种基于光子束的增材制造技术在打印分辨率、成型质量、重复性、任意设计性和打印效率等方面具有显著优势：首先，光学微纳3D打印的分辨率主要取决于光学系统的衍射极限，如瑞利判据0.61λ/NA(其中λ和NA分别为光源波长和成像系统的数值孔径)。
2023-12-01 15:47
的基本特性有：数值孔径或相对孔径；线视场或视场角；系统的放大率或焦距。此外还有与这些基本特性有关的一些特性参数，如光瞳的大小和位置、后工作距离、共轭距等。 二、系统的外形尺寸 系统的外形尺寸，即系统的横向尺寸和纵向尺
2023-06-14 10:17
***。 日前，韩媒报道称ASML公司正积极投资研发下一代EUV***，与现有的***相比，二代EUV***最大的变化就是High NA（高数值孔径）透镜，通过提升透镜规格使得新一代***的微缩分辨率、套
2019-07-13 09:40
、最精密复杂、难度最大、价格最昂贵的设备。 ***的分辨率决定了IC的最小线宽。想要提高***的成像分辨率,通常采用缩短曝光光源波长和增大投影物镜数值孔径两种方法。 根据所述光源的改进
2019-06-16 09:56
孔径延迟，英文释义为Aperture delay，是由于采样保持开关关断需要一定时间，相当于在采样时钟上引入一个小延迟，使得采集的信号为实际信号的延迟版本，因此，若孔径延迟是固定常数，则它并不产生误差，只会在时钟输入或模拟输入中起固定延迟的作用。
2020-10-02 18:04
