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  • 掩模ROM MCU,什么是掩模ROM MCU

    掩模ROM MCU,什么是掩模ROM MCU 掩膜ROM型产品单价便宜,却有额外增加开发费用的风险。掩膜ROM型产品的风险因素主要有二。首先是掩膜

    2010-03-26 11:07

  • 什么是掩模版?掩模版(光罩MASK)—半导体芯片的母板设计

    掩模版(Photomask)又称光罩、光掩模、光刻掩模版、掩膜版、掩膜板等,是光刻工艺中关键部件之一,是下游行业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具

    2023-12-25 11:41

  • 解析光刻芯片掩模的核心作用与设计

    掩模在芯片制造中起到“底片”的作用,是一类不可或缺的晶圆制造材料,在芯片封装(构筑芯片的外壳和与外部的连接)、平板显示(TFT-LCD液晶屏和OLED屏〉、印刷电路板、微机电器件等用到光刻技术的领域也都能见到各种掩模的身影。

    2024-01-18 10:25

  • 移相掩模技术不同的分类方法

    光刻图形质量的主要判据是图形成像的对比度,移相掩模方法可使对比度得到改善,从而使得其分辨率比传统方法改善 40%~100%。移相掩模按不同的分类方法可分为多种类型,其基本原理均为相邻透光图形透过的光振幅相位相反而产生相消干涉,振幅零点和(或)频谱分布压窄,从而改善

    2022-10-17 14:54

  • 光刻胶剥离和光掩模清洁的工艺顺序

    本文一般涉及处理光掩模的领域,具体涉及用于从光掩模上剥离光致抗蚀剂和/或清洗集成电路制造中使用的光掩模的设备和方法。

    2022-04-01 14:26

  • COVID将对光掩模市场产生什么业务影响?

    总体上,三分之二的调查参与者认为这将产生积极的影响。前往EUV时,口罩的数量减少了。这是因为EUV将整个行业带回单一模式。具有多个图案的193nm浸入需要在高级节点处使用更多的掩模

    2020-12-17 11:26

  • 预防光掩模雾状缺陷实用指南

    精密的线路图形精确地复制到每一片晶圆上。 然而,在使用光掩模进行硅片光刻的过程中,当掩模板被光刻机中的激光持续照射一段时间后,掩模板上常常会出现一种被称为雾状缺陷(Deflate)的问题,其中最常见的一种表现形式就是

    2025-02-19 10:03

  • 光刻可制造性检查如何检测掩模版质量

    随着工艺节点不断变小,掩模版制造难度日益增加,耗费的资金成本从数十万到上亿,呈指数级增长,同时生产掩模版的时间成本也大幅增加。如果不能在制造掩模版前就保证其设计有足够高的品质,重新优化设计并再次制造一批

    2023-11-02 14:25

  • MEMS电镀金属掩模工艺优化及构建仿真模型

    在微机电系统(MEMS)工艺中,沉积金属作为掩模是目前较为常用的方法。金属掩模的制备一般采用溅射与电镀结合的方式,在衬底上先溅射用于电镀工艺所沉积金属的种子层,然后采用电镀的方式生长金属掩模

    2022-11-25 10:13

  • 一文解析EUV掩模版缺陷分类、检测、补偿

    光刻机需要采用全反射光学元件,掩模需要采用反射式结构。 这些需求带来的是EUV光刻和掩模制造领域的颠覆性技术。EUV光刻掩模的制造面临着许多挑战,包括掩模基底的低

    2023-06-07 10:45