光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计_何良辰
2017-01-28 21:37
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机，有用于LED制造领域的光刻机，还有用于封装的光刻机。光刻机是采用
2022-02-05 16:03
实际过程肯定没这么简单，上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光，经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩
2020-07-07 14:22
计算机图形软件设计微通道，并将设计图形转换为图形文件。这些设计图形随后被用于指导掩膜版的制作。 在制版阶段，设计好的图形通过直写光刻设备（如激光直写光刻机或电
2024-08-08 14:56
是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与
2012-01-12 10:56
掩膜版作为微纳加工技术中光刻工艺所使用的图形母版，在IC、平版显示器、印刷电路版、微机电系统等领域具有广泛的应用。随着信息技术和智能制造的快速发展，特别是智能手机、平板电脑、车载电子等市场的快速增长
2025-02-19 16:33
光刻掩膜（也称为光罩）和模具在微纳加工技术中都起着重要的作用，但它们的功能和应用有所不同。 光刻掩
2024-10-14 14:42
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38
