本文介绍了用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术。 芯片制造：光刻技术的演进 过去半个多世纪，摩尔定律一直推动着半导体
2024-11-24 11:04
据韩媒报道称，ASML正积极投资研发下一代EUV光刻机，与现有光刻机相比，二代EUV光刻机最大的变化就是High NA透镜，通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩
2019-08-07 11:24
在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，ASML公司正在研发新一代EUV光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:13
数值孔径，是影响分辨率(R)，焦深（DOF）的重要参数，公式为： R=k1⋅λ/NA DOF=k2⋅λ/NA2 其中，λ为波长，k1,k2均为工艺因子。从公式可以看出：提高NA可以提升光刻分辨率，增大NA
2025-01-20 09:44
光刻机的曝光方式主要有三种，分别是接触式曝光、非接触式曝光和投影式曝光。
2022-01-03 17:31
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
贴片机的高分辨率是保证贴片机的基础，如同一台分辨率高的仪器是保证测量的基础一样。但是分辨率不与直接关联，贴片
2023-09-15 15:03
光刻机的原理是接近或接触光刻，通过无限接近，将图案复制到掩模上。直写光刻是将光束聚焦到一个点上，通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影
2022-07-10 15:28
什么是投影机标准分辨率/最大分辨率/投影机对比度 标准分辨率是指投影机
2010-02-05 10:19
