扫描电子显微镜(SEM)已广泛用于材料表征、计量和过程控制的研究和先进制造中,我们在对半导体材料和结构进行观测时,常常会遇到充电效应,本文讨论了与样品充电相关的一些问题以及减轻其影响的方法。
2023-12-29 15:57
计量学是推动当前及未来几代半导体器件开发与制造的重要基石。随着技术节点不断缩小至100纳米,甚至更小的线宽,以及高深宽比结构的广泛应用,扫描电子显微镜(SEM)凭借其高分辨率和多功能性,依然在全球半导体制造的多个阶段中占据核心地位。
2025-05-07 15:18
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM),可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构,这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想
2020-12-03 15:37