扫描电子显微镜(SEM)已广泛用于材料表征、计量和过程控制的研究和先进制造中,我们在对半导体材料和结构进行观测时,常常会遇到充电效应,本文讨论了与样品充电相关的一些问题以及减轻其影响的方法。
2023-12-29 15:57
计量学是推动当前及未来几代半导体器件开发与制造的重要基石。随着技术节点不断缩小至100纳米,甚至更小的线宽,以及高深宽比结构的广泛应用,扫描电子显微镜(SEM)凭借其高分辨率和多功能性,依然在全球半导体制造的多个阶段中占据核心地位。
2025-05-07 15:18
扫描电子显微镜(SEM简称扫描电镜)是一个集电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术于一体的复杂系统
2023-11-24 15:39