实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫
2020-07-07 14:22
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
据羊城晚报报道,近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机,顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区,中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机,主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36
Linux扫描式教程 关于本教程,其实在很多学习者中,有一些人希望能偶尔学到些东西,虽不像系统那样学习,零零碎碎总结起来还是受益不少,本教程就是为这些人群制定的。最基本的判断依据是看到哪学到哪,而且以简短的语言来描述,就像用系统一样,不一定要成为高手,但求成为熟悉的使用者。
2008-10-07 14:31
出现误差。传统聚焦手段已不能满足电子直写光刻机对电子束质量的要求。 只有对聚焦电极改进才是最佳选择,以下介绍该进后的电极工作原理。通过把电子束压缩到中心线达到缩束的目的,使电子束分布在一条直线
2025-05-07 06:03
版与硅片之间的距离较远,可以完全避免对掩膜版的损伤.为了提高分辨率,在投影式暴光中,每次只暴光硅片的一小部分,然后利用扫描和分步重复的方法完成整个硅片的暴光.在现代集成电路工艺中,使用最多的光刻系统
2012-01-12 10:56
扫描式电子显微镜 (SEM)扫描式电子显微镜,又扫描电镜(Scanning Electron Microscope, SEM)主要是利用微小聚焦的电子束(Electron Beam)进行样品表面
2018-08-31 15:53
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
单片机工作原理?
2023-02-21 20:16
分析仪难以很好地获取瞬态信号的频域信息。图4传统扫描式频谱分析仪的一种扫频FFT工作模式2、实时频谱分析仪相对于传统的扫描式频谱分析仪,实时频谱分析仪FFT输出处理方式不一样。传统频谱仪采用的FFT
2020-06-10 16:14