实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫
2020-07-07 14:22
本文以光刻机为中心,主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、光刻机的工艺流程及
2017-12-19 13:33
本文介绍了光刻机在芯片制造中的角色和地位,并介绍了光刻机的工作原理和分类。 光刻机:芯片制造的关键角色
2024-11-24 09:16
在半导体芯片制造设备中,投资最大、也是最为关键的是光刻机,光刻机同时也是精度与难度最高、技术最为密集、进步最快的一种系统性工程设备。光学光刻技术与其它光刻技术相比,具有
2018-04-10 11:26
雷达扫描式人体接近开关及应用
2009-04-14 09:17
`光刻机MPA500FAb用光栅尺传感器(扫描部位)供应。型号:SONY SR-721 150mm SCALE UNIT with HK-105C`
2020-01-31 18:04
导读:光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。光刻是制造芯片的最关键技术,在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术。 光刻机
2022-12-23 13:34
Linux扫描式教程chmLinux标榜自由和开放。简单的说,开源,免费。更重要的是完全DIY。 普及Linux电子书
2008-10-07 11:49
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
在曝光过程中,掩模版与涂覆有光刻胶的硅片直接接触。接触式光刻机的缩放比为1:1,分辨率可达到4-5微米。由于掩模和光刻胶膜层反复接触和分离,随着曝光次数的增加,会引起掩
2024-03-08 10:42