扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，主要用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，能够实现日志记录，曲线记录，程序编辑，远程控制等多种功能。
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针对传统的 扩散炉 控制系统的温度控制精度、生产工艺控制能力等较低的现状,提出了一种以PLC 为核心的扩散炉智能控制系统。该系统将模糊控制算法引入传统的
2011-07-06 16:00
横河PLC FA-M3在扩散炉上的应用。扩散炉工作区间内（800到1000mm）一般需要±01℃（个别要求±0.5℃）。扩散炉
2018-11-12 14:30
各种芯片制造行业；主要设备有：扩散炉，光刻机，涂布机，LPCVD，PROBING（点测机），干刻机、示波器、测膜厚仪等各种芯片制造设备；为更好的服务客户，公司同时经营各种相关设备配件与承接特气管路铺设
2009-05-12 17:32
各种芯片制造行业；主要设备有：扩散炉，光刻机，涂布机，LPCVD，PROBING（点测机），干刻机、示波器、测膜厚仪等各种芯片制造设备；为更好的服务客户，公司同时经营各种相关设备配件与承接特气管路铺设
2009-05-12 17:28
主要适合于3 英寸（兼容4 英寸工艺）硅片的硼扩散、磷扩散、一次氧化、干氧氧化、基区扩散氧化、合金、退火等工艺。
2009-04-11 09:02
备用石英管清洗 1.清洗石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺安全标准进行。 2.清洗槽内如果存有以前用过的氢氨酸溶液，溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸（由生产人员调配）;如果原有
2020-12-29 11:39
研华在针对设备与产线自动化的解决方案中，通过研华嵌入式平台进行数据的整合和运行，并且研华开放式的硬件平台支持各种流行系统，同时针对客户需求对系统进行剪裁，保障系统的稳定性，同时UNO系列结构坚固耐用，适合任何关键和恶劣的环境使用，特有的无风扇设计解决了传统的PC面临的问题，更能保证多台设备同时稳定运行。
2017-09-30 11:13
我司依托日本的关联公司，拥有丰富的一手海外设备货源，在国内有充足的二手设备库存，可以提供4-8英寸的完整半导体(LED)生产线或各单工序的工艺设备；同时，公司拥有以日本和韩国专家领衔的超过50人的强大的专业技术团队，能够进行整线的转移、设备的翻新、安装调试，维护等技术支持服务；公司另有一个真空泵维修中心，销售、翻新修理干泵、冷泵、油泵。主要业务如下：1.半导体和LED生产线整线转移；2.提供进口二手的硅片生产、制版、外延、芯片制造、测试、封装等各种设备；3.半导体生产线工艺技术转让；4.半导体生产线设备翻新、安装调试、维护等相关技术服务；5.半导体设备零件和耗材提供；6.EBRA、EDWARDS、KASHIYAMA等品牌干泵的销售、翻新和维修；冷泵和油泵的保养维修等。联系人：傅鹏波联系方式：137-3532-3169
2020-03-26 13:51
针对半导体扩散炉温度控制问题，提出采用RBF 神经网络控制方法。RBF 神经网络采用3-8-3 结构。建模表明，此RBF 网络数学模型具有良好的控制品质。关键词：半导体扩散炉；RBF 神
2009-05-30 10:42
在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段，针对人工测量效率低，精度差等问题，设计了基于LabVIEW 虚拟仪器的恒温区自动测量系统，阐述系统的组成
2009-09-16 10:54
