半导体器件被广泛应用于从智能手机到汽车等各个领域,在其制造过程中半导体光刻机必不可少。你知道吗,日本首台半导体光刻机发售
2020-01-16 08:36
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。
2025-01-16 09:29
光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机是
2020-09-30 16:17
光刻机是芯片制造中光刻环节的核心设备, 技术含量、价值含量极高。 光刻机涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术,是所有半导体制造
2018-04-10 10:19
光刻机是芯片制造的重要设备,内部结构精密复杂,它决定着芯片的制程工艺,是芯片生产中不可少的关键设备,而且光刻机的技术门槛极高,整个设备的不同部位采用了世界上最先进的技术,如德国的光学设备、美国的计量设备等,可以说是“集人类智慧大成的产物”,被誉为
2020-03-14 10:58
光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位,光刻机,是制造芯片的机器,要是没有了
2021-07-07 14:31
而作为全球半导体设备光刻机龙头,ASML也非常重视在中国的发展。据ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波介绍,自1988年至今,ASML在中国大陆的全方位光刻解决方案下的装机量已超过1000台,相应的员工数量也超过了
2022-12-05 10:42
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
光刻机是半导体制造设备中价格占比最大,也是最核心的设备,是附加价值极高的产品,被誉为是半导体产业皇冠上的明珠。
2020-03-19 13:55
光刻机是芯片制造最为重要的设备之一。目前,ASML垄断了全世界的高端光刻机。中国一直以来都想掌握光刻机技术,但是上海微电子经过17年的努力,才造出90nm的光刻机,这
2020-01-29 11:07