浸泡和鼓泡式蚀刻会造成较大的侧蚀，泼溅和喷淋式蚀刻侧蚀较小，尤以喷淋蚀刻效果最好。
2019-04-25 15:48
现在，抗蚀剂的涂布方法根据电路图形的精密度和产量分为以下三种方法：丝网漏印法、干膜／感光法、液态抗蚀剂感光法
2018-03-19 11:43
本文研究了通过光敏抗蚀剂的湿蚀刻剂渗透。后者能够非常快速地响应选择湿蚀刻剂/聚合物的兼容性，以保护下面的膜不被降解。如今，大多数材料图案化是用等离子蚀刻而不是湿法蚀刻来进行的。事实上，与通常
2022-04-06 13:29
本文研究了通过光敏抗蚀剂的湿蚀刻剂渗透。后者能够非常快速地响应选择湿蚀刻剂/聚合物的兼容性，以保护下面的膜不被降解。如今，大多数材料图案化是用等离子蚀刻而不是湿法蚀刻来进行的。事实上，与通常
2022-04-22 14:04
应用声发射评定金属点蚀过程的研究进展 点蚀是金属腐蚀中最危险的腐蚀形态。文章介绍了目前应用声发射技术对金属点蚀进行评价的方法,认为应用声发射技术探测钢
2009-11-15 12:10
。由于水冲洗步骤导致的横向Ge消耗通过干法工艺被最小化，这表明了等离子体钝化效应。注入后剥离特别困难，因为Si典型溶液对Ge具有高度侵蚀性，还因为抗石墨化。使用升温工艺，获得了良好的抗蚀剂去除效率。
2022-05-25 16:43
退火后对结特性的剥离和清洁对于实现预期和一致的器件性能至关重要，发现光致抗蚀剂剥离和清洗会导致:结蚀刻、掺杂剂漂白和结氧化，植入条件可以增强这些效应，令人惊讶的是，剥离和清洁也会影响掺杂剂分布，并且
2022-05-06 15:55
应用声发射评定金属点蚀过程的研究进展 摘要: 点蚀是金属腐蚀中最危险的腐蚀形态。文章介绍了目前应用声发射技术对金属点蚀进行
2009-10-22 16:46
压力开关在使用过程中，其触点可能会因电弧效应、过载或频繁操作而出现烧蚀现象，进而引起接触不良、设备启动失败等问题。如果不及时解决，可能会造成安全隐患。本文将详细阐述触点烧蚀的原因、诊断方法、更换步骤以及预防措施，以帮助读者有效应对这一挑战。
2025-06-17 09:07
本文主要报道了ProTEK PSB在实际应用条件下的图形化特性、抗蚀性和去除特性。研究发现了ProTEK PSB的两个问题:不可接受的大侧刻和有机溶剂或氧化灰难以去除引物。为了制造一个lsi集成
2022-02-09 15:25
