本文实现了一种正面开口的热电堆结构,采用XeF2作为工作气体干法刻蚀工艺释放器件。相对于刻蚀硅,XeF2气体对铝等材料的刻蚀速率极小,这样就可以采用标准CMOS工艺中最常用的材料
2012-05-02 17:26
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 结构在制作 CMOS 之前完成,带有MEMS 微结构部分的硅片可以作为 CMOS 工艺的初始材料。
2022-10-13 14:52
近年来,有关将CMOS工艺在射频(RF)技术中应用的可能性的研究大量增多。深亚微米技术允许CMOS电路的工作频率超过1GHz,这无疑推动了集成CMOS射频电路的发展。目
2017-11-25 11:07
我们不断向先进的CMOS的微缩和新存储技术的转型,导致半导体器件结构的日益复杂化。例如,在3D NAND内存中,容量的扩展通过垂直堆栈层数的增加来实现,在保持平面缩放比例恒定的情况下,这带来了更高
2023-01-06 15:27
CMOS 集成电路的基础工艺之一就是双阱工艺,它包括两个区域,即n-MOS和p-MOS 有源区
2022-11-14 09:34
根据图像传感器的应用和制造工艺,图像传感器可分为CCD图像传感器和CMOS图像传感器。 特别是CMOS图像传感器(CIS)不仅被搭载于数码相机,还被广泛应用于智能手机、平板电脑、CCTV、汽车黑匣子、无人驾驶车辆传感
2024-01-24 09:30
试想一下,如果SIL定级的时候我们把SIL验算流程简化,不需要提供设备的失效数据和复杂的计算,经过简单判断就能得到SIF大概的SIL等级,是不是就能大大提高工作效率,减少返工?我们称之为实用简化的SIL预验算:
2023-03-22 11:37
因为CMOS工艺易于集成化,并且相对较低的电路功耗,所以。个人电脑、互联网络和数字革命,强烈推动了对CMOS集成电路芯片的需求,基于CMOS
2023-07-24 17:05
CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor, 互补金属氧化物半导体)工艺技术是当今集成电路制造的主流技术,99% 的 IC 芯片,包括大多数数字、模拟和混合信号IC,都是使用 C
2024-03-12 10:20
相变存储器具有很多优点,比如可嵌入功能强、优异的可反复擦写特性、稳定性好以及和CMOS工艺兼容等。
2020-01-07 15:17