的影响也反映了进去。 计算结果与实验结果进行了对比， 表明此模型在解释硅在 KOH 中各向异性腐蚀特性等方面具有一定的合理性。 微电子机械系统（M EM S） 的发展令人瞩目， 它是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。 M
2017-11-07 19:48
1.3伺服电动机机械系统由力或力矩控制并遵循动力学模型，该动力学模型依赖许多未知的系数。由运动学模型表述的相同的机械系统由位置、速度或加速度控制，运动学模型取决于已知的几何系数而且比较容易写成
2021-09-17 09:19
微电子机械系统(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指运用微电子加工技术和微机械加工技术,在较小的物理尺寸上,集成了
2009-07-11 14:54
微电子机械系统（MEMS）技术在通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS 器件如MEMS 电感、电容、开关、滤波器、光检测器等
2009-11-16 16:41
静电力作为微电子机械系统(MEMS)中一种重要的驱动力，广泛应用于微镜、微 钳、微开关等微器件中。尽管部分静电驱动MEMS产品已经从实验室走向商业化，但
2010-08-09 17:04
介绍了聚对二甲苯新材料的主要性能和在印制电路组件、微电子集成电路、微电子机械系统(MEMS) 、传感器、生物医用电子、磁性材料、光纤光缆密封件、焊膏等
2009-06-22 10:34
微电子机械系统（MEMS）和超大规模集成电路（VLSI）技术的发展对能源的微型化、集成化提出了越来越高的要求。全固态薄膜锂电池因其良好的集成兼容性和电化学性能成为MEMS和VLSI能源微型化、集成化的最佳选择。简单介
2011-03-15 03:25
摘 要: 微电池在未来的便携式电子设备、国防装备及微电子机械系统(MEMS)等方面有着广泛的应用前景,受到人们的重视。其中全固态薄膜锂电池具有能量密度高、循环性能和安全性能好等优点已经成为目前研究的热点。由于该类电池
2011-02-23 13:13
摘要：以电力系统保护为背景，分别了微电子机械系统（MEMS）的发展使电气设备实现小型化、智能化的可能性；论述了微电器应具备的特征；讨论了微电气设备的特点。 关键词：微电子机械系
2011-02-15 11:04
全光网被认作光通信网的终极目标，能极大地提升通信系统的性能，节省通信系统的成本，将网络通信领进新时代。全光网近年来随着液晶、微电子机械系统（MEMS）技术的发展和波长选
2022-09-26 11:38
