的影响也反映了进去。 计算结果与实验结果进行了对比， 表明此模型在解释硅在 KOH 中各向异性腐蚀特性等方面具有一定的合理性。 微电子机械系统（M EM S） 的发展令人瞩目， 它是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。 M
2017-11-07 19:48
ADI在线研讨会:理解和应用微电子机械系统（MEMS）
2019-07-19 06:05
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro
2011-11-01 11:41
在新加坡南洋理工大学，医学研究人员正尝试利用一款新开发的微电子机械系统（MEMS）微流控芯片，来实现研究心血管疾病的成因和预防。
2018-01-05 11:50
从全局考虑MEMS集成 在将微电子机械系统(MEMS)集成进更大的电子系统时工程师必须进行全局考虑，但是目前工程师所面临的问题是：如何划分和封装
2008-09-22 08:48
微电子机械系统（MEMS）技术在通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS 器件如MEMS 电感、电容、开关、滤波器、光检测器等
2009-11-16 16:41
SensorDynamics推出MEMS陀螺仪系列 SensorDynamics 推出了四款采用微型QFN40封装的新型微电子机械系统 (MEMS) 陀螺仪：型号从SD705至SD708。这些传感器具有较低的撞击和
2010-02-23 09:21
随着微电子机械系统（MEMS）技术的不断成熟，以及电子学系统发展对器件小型化的要求，作为MEMS技术的重要分支，MEMS
2020-08-11 16:56
摘要：以电力系统保护为背景，分别了微电子机械系统（MEMS）的发展使电气设备实现小型化、智能化的可能性；论述了微电器应具备的特征；讨论了微电气设备的特点。 关键词：微电子机械系
2011-02-15 11:04
微电子机械系统(MEMS)技术利用IC加工技术实现微纳米尺度加工，在加工精度、加工手段、EDA(计算机辅助设计)等方面具有先天优势，因此石英晶体技术与MEMS技术的结合成为必然趋势。
2018-05-24 17:29
